碳化硅晶圓電阻率測量儀

產品介紹

產品名稱：全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成：

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀：

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2電流誤差：±0.5%

三坐標測試移動品臺：

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

四探針測試電極：

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數：可以設定

4、 2D成像：測試完成后，可以立體成像

此拉伸負荷應迅速而平穩從零上升到大約為額定機械負荷SML的75%,然后在30s?90s的時間內逐漸上升到額定機械負荷SML。為從試驗中獲得更多的資料，除非有特殊原因（如試驗機的大拉伸負荷），負荷應當一直上升到破壞負荷，如果符合下列規定，——在額定機械負荷的70%下96h試驗（6.4.2a））和*額定機械負荷下1min耐受試驗（6.4.2c））均無破壞發生（芯棒斷裂或拉脫，或金屬附件破裂）；——用6.4.2b）中所述的染色滲透法沒有出現裂紋；——研究6.4.2b）中所述切成兩半的情況能清楚表明開裂沒有達到芯棒。用戶和制造廠協商進行此試驗，協商可接受的大無線電干擾水平。此試驗應根據JB/T3567進行。

必要時，絕緣子應在屏蔽電場的環境中測試。抽樣試驗使用兩種樣本，Ei和秩，此兩種樣本的大小見下表。若被檢驗絕緣子多于10000只，則應將它們分成幾批，每批的數量在2000?10000只。試驗結果應分別對每批作出評定。絕緣子應從該批中隨機地抽取，買方有權抽取。對抽取樣本進行相應的抽樣試驗。—尺寸檢査（Ei+E0）；——驗證金屬附件和傘套間界面的滲透性（互）和驗證額定機械負荷的試驗（E。——鍍鋅層試驗（?。?；——陡波前沖擊耐受電壓試驗（EQ。

碳化硅晶圓電阻率測量儀

碳化硅晶圓電阻率測量儀