非接觸法晶圓電阻率成像測定儀

產品介紹

產品名稱：全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成：

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀：

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2電流誤差：±0.5%

三坐標測試移動品臺：

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

四探針測試電極：

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數：可以設定

4、 2D成像：測試完成后，可以立體成像

將未修整面按GB/T6553要求打磨處理。安裝時，應將長度方向中裁取膠片較靠近底邊的一端聯接在高壓電極，且此電極應在未修整面上，上下電極間至少65%的面積應為待試樣。

試驗方法和結果判定依據GB/T6553,試驗采用恒壓法A,耐受電壓4.5kV,蝕損深度不應大于2.5mm。試驗結果僅當蝕損區域在裁取的傘裙膠料內有效（蝕損深度大于2.5mm的部分可以是制樣用膠料），否則應重新補做該號試品。注：如果絕緣子的傘套裁取不到以上規格的膠片時,應采用正常生產使用的膠料，按正常生產的硫化條件制成符合GB/T6553規定的試樣。一種絕緣子型式在電氣上是由電弧距離、爬電距離、傘傾角、傘徑和傘間距所確定的。一種型式符合上述準則的絕緣子，其電氣型式試驗只需進行一次。如果引弧裝置是該型式絕緣子的一完整部分，則電氣型式試驗應帶上引弧裝置進行。僅當上述特性中有一項或幾項改變時電氣型式試驗才需重新進行。

一種絕緣子型式在機械上是由芯棒直徑和材料、傘套的材料和工藝、金屬附件的連接方法來確定。僅當上述特性中有一項或兩項都改變時機械型式試驗才需重新進行。除非另有規定，按IEC60383.1993中和12進行。按IEC60383.1993中和12進行

非接觸法晶圓電阻率成像測定儀

非接觸法晶圓電阻率成像測定儀