非接觸法晶圓電阻率成像測試儀

產品介紹

產品名稱：全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成：

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀：

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2電流誤差：±0.5%

三坐標測試移動品臺：

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

四探針測試電極：

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數：可以設定

4、 2D成像：測試完成后，可以立體成像

試驗期間不應岀現擊穿和表面閃絡，本試驗用來檢査傘套材料的點燃及自熄性能。本試驗應按照IEC60707中的FV方法進行。如果試樣屬于IEC60707所確定的FV-0范圍，則試驗通過。除芯棒材料試驗試品外,設計試驗試品的傘套材料應相同。在絕緣子較大傘裙,裁取的膠片表面應沒有或存在較小的劃傷、凸起、凹坑、氣泡、標記、修補痕跡等缺陷。膠片數量應不少于5片。將膠片修整成長度不小于60mm,寬度為40mm?50mm,厚度為2mm?6mm的形狀。

修整時應盡可能少地裁削膠片，并且進行厚度修整時只能對其一個傘面（一般為傾斜角較大的一面）切削，膠片的邊沿可以不是直線,但應在以上規定的范圍內。將裁好的膠片放置于試樣制備模具中，放置時應保證待試樣長度方向距模腔底邊約5mm?10mm,寬度方向應使試樣放在中間，厚度方向將未修面緊貼模具底面，然后均勻放置適量膠料（此膠料應與傘裙膠料相同或相近），按混煉膠硫化工藝成型、制樣，制備的試樣表面應無裂痕，未修整表面中部不應有制樣用膠料，必要時可在待試樣親和界面涂偶聯劑

非接觸法晶圓電阻率成像測試儀

非接觸法晶圓電阻率成像測試儀