晶圓非接觸法電阻率測試儀

產品介紹

產品名稱：全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成：

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀：

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2電流誤差：±0.5%

三坐標測試移動品臺：

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

四探針測試電極：

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數：可以設定

4、 2D成像：測試完成后，可以立體成像

以便自然排氣。用渦輪噴霧器或具有恒定噴射能力的室內噴霧裝置用作為水的噴霧器。霧應充滿試驗室且不應直接噴向試品。將由NaCl和去離子水配制好的鹽水裝入噴霧裝置中。為了得到工頻試驗電壓，應使用的試驗變壓器當高壓側帶有阻性電流250mA(r.m.s.)的負荷時,試驗回路大電壓降不超過5%。保護水平應調整到lA(r.m.s.)°在開始試驗前。

試品應用去離子水清洗。試驗時一只試品應水平地安裝(大約在霧室高度的一半位置處)，第二只試品應垂直安裝，水流的速率是以升每小時和每立方米試驗室體積來定義的。不允許用循環水。注：為便于檢査，允許試驗有幾次中斷.但每次中斷不應超過15min,中斷的時間不應計入試驗時間內。對于嚴酷環境條件(強烈的陽光照射，頻繁的溫度變化并凝露，由JB/T5895所定義的重污穢或嚴重污穢)，可經用戶和制造廠間協議采用附錄C所述的試驗方法。若每只被試試品沒有出現超過3次過流中斷，不產生起痕，蝕損沒有腐蝕到玻璃纖維芯棒，芯棒不應能看見，傘裙沒被擊穿，則認為試驗通過。目前，還不能提出允許蝕損開裂數目定量化考核的可靠準則。隨著本試驗經驗的進一步積累。

將會得出與運行經驗的相對應的判據。在流動的冷水下，用有金剛石層的圓鋸片從正常生產的絕緣子上沿與芯棒軸線成90°的方向切割下10只試品，試品長度應為10mm±0.5mm。切面應用細砂布打光（砂粒大小為180目），兩端的切面應是清潔和平行的

晶圓非接觸法電阻率測試儀

晶圓非接觸法電阻率測試儀