晶圓非接觸法電阻率測定儀

產品介紹

產品名稱：全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成：

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀：

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2電流誤差：±0.5%

三坐標測試移動品臺：

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

四探針測試電極：

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數：可以設定

4、 2D成像：測試完成后，可以立體成像

對此6只絕緣子進行外觀檢查，并核對其尺寸是否符合圖紙。注：若制造廠只生產短于800mm的絕緣子，設計試驗也可在現有長度的絕緣子上進行。

對3只試品施加拉伸負荷。此拉伸負荷應迅速而平穩地從零升高到大約為芯棒預期機械破壞負荷的75%,然后在30s至90s的時間內逐漸升高到芯棒破壞或完全抽出。終導致聯接破壞的任何試驗應當不計入。算出其3只試品的破壞負荷平均值。對剩余3只試品施加拉伸負荷，兩只試驗絕緣子的爬電距離應在484mm到693mm之間。若試驗的絕緣子不能從生產線上取得，則應從別的絕緣子上切下制成專門的試品，使其爬電距離在給定值之間。此專門試品應裝上正常生產用的金屬附件。此試驗是在14kV?24kV范圍內的穩定工頻電壓和鹽霧條件下的一種限定時間的連續試驗。試驗電壓千伏數應按爬電距離毫米數除以34.6(等于爬電比距20mm/kV)來確定。

注：若整只正常生產的產品的爬電比距大于20mm/kV時，試驗電壓應經供需雙方協議確定，式中：U——試驗電壓,kV；P—生產線產品按系統高運行電壓換算的爬電比距，mm/kV；L--試品的爬電距離，mm。此試驗應在潮濕、密封、防銹的霧室中進行，霧室的容積不應超過10m應備有一個不大于80cm。

晶圓非接觸法電阻率測定儀

晶圓非接觸法電阻率測定儀